一、工作原理

1. 吸氣：動(dòng)渦旋盤旋轉(zhuǎn)使外圍腔室負(fù)壓，吸入氣體；
2. 壓縮：腔室向中心移動(dòng)并縮小體積，壓縮氣體；
3. 排氣：腔室到中心排氣口，排出壓縮氣體。
   全程無(wú)摩擦、無(wú)潤(rùn)滑油，間隙僅數(shù)十微米，實(shí)現(xiàn)無(wú)油潔凈抽氣，噪音≤65dB。

二、應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體 / 微電子：適配刻蝕、薄膜沉積等工藝，提供 10?3Pa 潔凈真空，避免晶圓污染，保障芯片精度；
2. 醫(yī)藥 / 食品：用于藥品凍干、食品真空包裝，符合 GMP/FDA 標(biāo)準(zhǔn)，杜絕油污染，保護(hù)熱敏物料活性；
3. 材料 / 鍍膜：助力光學(xué)鍍膜、鋰電池材料干燥，減少鍍膜缺陷，保障電極導(dǎo)電性；
4. 分析儀器 / 科研：為質(zhì)譜儀、表面物理實(shí)驗(yàn)提供低干擾真空，提升檢測(cè)精度與數(shù)據(jù)重復(fù)性；
5. 工業(yè)輔助：用于真空吸附搬運(yùn)、塑料脫氣，避免吸附件油污，降低制品氣泡率。

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渦旋式干泵類目：

1. IDP 渦旋泵

   

2. 渦旋泵省心套裝

   

3. TriScroll 泵

   

4. 渦旋泵附件

   

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