材料排氣封裝設(shè)備
產(chǎn)品概述
用于高純材料排氣封裝.
產(chǎn)品參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 主要技術(shù)指標 | 根據(jù)工件數(shù)量和材料放氣量進行定制（2,4工位） |
| 接口尺寸 | KF40（石英管接頭根據(jù)實際尺寸定做）限真空度（空載）優(yōu)于5×10-7mbar |
| 設(shè)備形式 | 水平和立式可選 |
| 設(shè)備尺寸 | |
| 設(shè)備尺寸 | H1600×W1200×d800 |
| 其他參數(shù) | |
| 供電電源 | 三相五線 380V±5%, 50~60Hz |
