一、工作原理

1. 氣體分子與油蒸氣碰撞后，隨油蒸氣向排氣口方向運動；
2. 油蒸氣接觸低溫泵壁后冷凝回流，重新加熱循環(huán)；
3. 被輸送的氣體由前級泵（如旋片泵）抽走，實現(xiàn)中高真空獲取，量程10?1~10??Pa，需搭配前級泵使用，且需控溫防油過熱分解。

二、核心應(yīng)用場景

• 真空設(shè)備過渡抽氣：作為旋片泵（低真空）與離子泵（超高真空）的 “中間泵”，將系統(tǒng)壓力從 10?1Pa 降至 10??Pa，為超高真空設(shè)備啟動鋪路；
• 工業(yè)鍍膜：大型光學鍍膜機（如眼鏡片、汽車玻璃鍍膜）、磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，維持腔室中高真空，避免膜層雜質(zhì)；
• 金屬加工：真空釬焊（如航空零部件焊接）、真空熔煉（特種合金制備），抽除爐內(nèi)氣體，防止金屬氧化；
• 科研與檢測：電子束焊機、真空光譜儀等設(shè)備，提供中高真空環(huán)境，保障光束穩(wěn)定性與檢測精度。

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擴散泵類目：

1. 小型擴散泵

   

2. 大型擴散泵