雙溫區(qū)退火爐 - 半導體行業(yè)
產(chǎn)品概述
主要用于半導體行業(yè)中芯片轉型退火、擴散等.
產(chǎn)品參數(shù)
主要技術指標 | |
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最高使用溫度 | ≤500℃ |
恒溫區(qū) | 高溫區(qū)長度≥200mm, 溫度均勻性±0.5℃?? 低溫區(qū)長度≥150mm, 溫度均勻性±0.5℃ |
設備尺寸 | |
設備尺寸 | L1800×W600×H1600mm |
其他參數(shù) | |
供電電源 | 三相五線 380V±5%;50~60Hz |
全控多年專注非標設備研發(fā)、生產(chǎn)