一、工作原理（按類型分）

1. 截止閥（擋板閥）：擋板（閥芯）與閥座貼合 / 脫離控通斷，適配 10?~10?11Pa，密封性強(qiáng)，用于腔室與泵組通斷；
2. 蝶閥：蝶板旋轉(zhuǎn) 0° 開、90° 關(guān)，適配 10?~10?3Pa，阻力小、開關(guān)快，適合大口徑氣路（如干燥爐）；
3. 止回閥（單向閥）：氣體壓力差驅(qū)動閥芯單向?qū)ǎ婪聪蚧亓?，適配 10?~10?2Pa，用于前級泵出口；
4. 微調(diào)閥：針形閥芯調(diào)間隙控流量，適配 10?~10??Pa，精度高，用于檢漏儀、真空規(guī)氣路。

二、應(yīng)用場景

1. 真空設(shè)備：泵組間裝截止閥聯(lián)動控壓；腔室檢修時關(guān)閥隔離真空；
2. 工業(yè)生產(chǎn)：半導(dǎo)體工藝用微調(diào)閥控氣體流量；真空冶金用蝶閥切換抽真空 / 惰性氣體回填；
3. 科研實驗：超高真空系統(tǒng)（加速器、TEM）用金屬密封截止閥保密封；檢漏儀用微調(diào)閥定漏點；
4. 民生 / 特種：真空包裝機(jī)用截止閥控抽氣密封；航天模擬器用截止閥隔離梯度真空艙。

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真空閥類目：

1. 全金屬 UHV 閥

   

2. 鋁質(zhì)閥

   

3. 鋁插板閥

   

4. 電磁擋板閥

   

5. 不銹鋼插板閥

   

6. 微調(diào)放氣閥