一、工作原理（按類型分）

1. 熱傳導(dǎo)式：靠氣體熱傳導(dǎo)率隨壓力變化，檢測加熱金屬絲電阻反推壓力，量程 10?~10?1Pa，簡單低成本，需校準(zhǔn)；
2. 電離式：電子撞擊氣體電離產(chǎn)生離子流，離子流強度關(guān)聯(lián)壓力，量程 10?1~10?11Pa，精度高，需先抽低真空；
3. 電容式薄膜：壓力差使薄金屬膜形變，導(dǎo)致電容變化，量程 10?~10??Pa，耐污染、無燈絲，適配腐蝕性氣體；
4. 冷陰極電離式：高壓電場電離氣體，無燈絲損耗，量程 10?2~10??Pa，耐沖擊，適合惡劣環(huán)境。

二、應(yīng)用場景

1. 真空設(shè)備：配套真空泵組監(jiān)測壓力（判狀態(tài)、查漏氣），鍍膜機 / 刻蝕機確認(rèn)真空達(dá)標(biāo)；
2. 科研實驗：加速器、核聚變裝置測超高真空，SEM/TEM 保障成像分辨率；
3. 工業(yè)生產(chǎn)：半導(dǎo)體工藝監(jiān)測潔凈真空，醫(yī)藥凍干設(shè)備控真空度防藥品破壞；
4. 計量校準(zhǔn)：高精度規(guī)管作標(biāo)準(zhǔn)，校準(zhǔn)低精度規(guī)管。

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真空規(guī)管類目：

1. 粗真空規(guī)

   

2. 高真空規(guī)

   

3. 寬量程真空規(guī)

   

4. 薄膜真空規(guī)