真空排氣臺
產(chǎn)品概述
主要采用無油超高真空系統(tǒng),用于實現(xiàn)紅外杜瓦內真空排氣處理。
產(chǎn)品參數(shù)
技術參數(shù) | |
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類型 | 中測排氣、超高真空排氣(器件) |
工位 | 4-16工位可定制 |
限真空度(空載) | 中測優(yōu)于5×10-7mbar 超高真空優(yōu)于7×10-10mbar |
其他參數(shù) | |
供電電源 | 380V/220V可選 |
其他 | 超高真空排氣設備選配計算機控制、激活電源探測器組件內部二極管、測量用精密恒流源 |
全控多年專注非標設備研發(fā)、生產(chǎn)