真空排氣臺(tái)
產(chǎn)品概述
主要采用無油超高真空系統(tǒng)，用于實(shí)現(xiàn)紅外杜瓦內(nèi)真空排氣處理。
產(chǎn)品參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 類型 | 中測(cè)排氣、超高真空排氣（器件） |
| 工位 | 4-16工位可定制 |
| 限真空度（空載） | 中測(cè)優(yōu)于5×10-7mbar 超高真空優(yōu)于7×10-10mbar |
| 其他參數(shù) | |
| 供電電源 | 380V/220V可選 |
| 其他 | 超高真空排氣設(shè)備選配計(jì)算機(jī)控制、激活電源探測(cè)器組件內(nèi)部二極管、測(cè)量用精密恒流源 |
