存儲柜
產(chǎn)品概述
主要用于半導體行業(yè)中芯片儲存、材料、培養(yǎng)皿等存放。
產(chǎn)品參數(shù)
主要技術指標 | |
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腔室尺寸 | H350×W450×d300mm (可定制) |
腔室數(shù)量 | 3個(可選) |
限真空度 | 10Pa |
系統(tǒng)漏率 | <10-9Pa·m3/s |
設備尺寸 | |
設備尺寸 | H1750×W700×d600mm |
設備類型 | |
真空儲存 | 可自動恒定 |
氮氣儲存 | 恒定壓力,自動補氣 |
氫氣儲存 | 恒定壓力,自動補氣,漏氣報警 |
全控多年專注非標設備研發(fā)、生產(chǎn)