存儲(chǔ)柜
產(chǎn)品概述
主要用于半導(dǎo)體行業(yè)中芯片儲(chǔ)存、材料、培養(yǎng)皿等存放。
產(chǎn)品參數(shù)
| 主要技術(shù)指標(biāo) | |
|---|---|
| 腔室尺寸 | H350×W450×d300mm (可定制) |
| 腔室數(shù)量 | 3個(gè)(可選) |
| 限真空度 | 10Pa |
| 系統(tǒng)漏率 | <10-9Pa·m3/s |
| 設(shè)備尺寸 | |
| 設(shè)備尺寸 | H1750×W700×d600mm |
| 設(shè)備類型 | |
| 真空儲(chǔ)存 | 可自動(dòng)恒定 |
| 氮?dú)鈨?chǔ)存 | 恒定壓力，自動(dòng)補(bǔ)氣 |
| 氫氣儲(chǔ)存 | 恒定壓力，自動(dòng)補(bǔ)氣，漏氣報(bào)警 |
