單溫區(qū)退火爐 - 半導(dǎo)體行業(yè)
產(chǎn)品概述
主要用于半導(dǎo)體行業(yè)中芯片轉(zhuǎn)型退火、擴(kuò)散等.
產(chǎn)品參數(shù)
| 主要技術(shù)指標(biāo) | |
|---|---|
| 最高使用溫度 | ≤800℃ |
| 恒溫區(qū) | 長度≥400mm, 溫度均勻性±1.5℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ |
| 腔室 | φ100mm、φ120mm、φ150mm可選可定制 |
| 功能 | 自動退火功能，記錄工藝參數(shù)，多種工藝參數(shù)存儲調(diào)用 |
| 設(shè)備尺寸 | |
| 設(shè)備尺寸 | L1800×W600×H1600mm |
| 其他參數(shù) | |
| 供電電源 | 三相五線 380V±5%,50~60Hz |
| 設(shè)備重量 | 200Kg |
