單溫區(qū)退火爐 - 半導體行業(yè)
產品概述
主要用于半導體行業(yè)中芯片轉型退火、擴散等.
產品參數
| 主要技術指標 | |
|---|---|
| 最高使用溫度 | ≤800℃ |
| 恒溫區(qū) | 長度≥400mm, 溫度均勻性±1.5℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ |
| 腔室 | φ100mm、φ120mm、φ150mm可選可定制 |
| 功能 | 自動退火功能，記錄工藝參數，多種工藝參數存儲調用 |
| 設備尺寸 | |
| 設備尺寸 | L1800×W600×H1600mm |
| 其他參數 | |
| 供電電源 | 三相五線 380V±5%,50~60Hz |
| 設備重量 | 200Kg |
全控多年專注非標設備研發(fā)、生產
- 聯(lián)系人: 王經理
- 云南省昆明市呈貢區(qū)華潮商務園（常山路50米）
- 13888610742 | 0871-67171886
- jiawu-wang@126.com
