以動能傳遞為核心，通過高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪（最高轉(zhuǎn)速 90,000 轉(zhuǎn) / 分，外緣線速度 150-400 米 / 秒），將動能傳遞給氣體分子，使其從無序熱運(yùn)動轉(zhuǎn)為定向流動；配合交替排列的靜葉輪（間隙僅 1 毫米），實(shí)現(xiàn)氣體從進(jìn)氣口向排氣口輸送。需與前級真空泵（工作壓力 1-10?2Pa）協(xié)同，在分子流狀態(tài)下發(fā)揮高真空獲取能力。
- 半導(dǎo)體制造：保障光刻、離子注入等工藝的高真空環(huán)境，避免雜質(zhì)污染，確保芯片精度與性能；
- 科學(xué)研究：為加速器、電子顯微鏡等提供 10??Pa 以下超高真空，降低實(shí)驗(yàn)干擾；
- 真空鍍膜：維持穩(wěn)定真空，減少薄膜缺陷，提升光學(xué)、耐磨性能；
- 本公司除氣爐設(shè)備：
- 應(yīng)用于不銹鋼精密工件（如航空連接件）除氣，將爐內(nèi)真空度穩(wěn)定在 10??Pa 以下，去除 H?、O?等殘留氣體，使材料氣體殘留量≤5ppm；
- 相比傳統(tǒng)系統(tǒng)，設(shè)備潔凈度提升 10 倍、除氣效率提高 30%，工件良品率從 92% 升至 99.5%，獲高端制造客戶復(fù)購。
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渦輪分子泵類目：
控制器渦輪分子泵
真空渦輪分子泵
一體化渦輪分子泵系統(tǒng)
模塊化渦輪分子泵系統(tǒng)
