一、工作原理（按類型分）

1. 熱傳導式：利用氣體熱傳導率隨壓力變化，通過檢測加熱元件（如鎢絲）的電阻 / 溫度變化反推真空度，量程 10?~10?1Pa，結(jié)構(gòu)簡單；
2. 電離式：燈絲發(fā)射電子電離氣體，離子流強度與壓力成正比，量程 10?1~10?11Pa，精度高，需先抽低真空；
3. 電容式薄膜：壓力差使金屬膜片形變，導致電容變化，量程 10?~10??Pa，耐污染、無燈絲，適配腐蝕性氣體；
4. 冷陰極式：高壓電場電離氣體，無燈絲損耗，量程 10?2~10??Pa，抗沖擊，適合惡劣環(huán)境。

二、核心應用場景

1. 真空設(shè)備配套：監(jiān)測真空泵組（分子泵、干泵）壓力，判斷是否達標 / 漏氣；保障鍍膜機、刻蝕機腔室真空穩(wěn)定；
2. 科研實驗：為加速器、核聚變裝置測超高真空，為 SEM/TEM 等儀器提供低干擾真空環(huán)境，提升實驗精度；
3. 工業(yè)生產(chǎn)：半導體工藝（離子注入、晶圓清洗）控潔凈真空，醫(yī)藥凍干設(shè)備保真空度防藥品破壞；
4. 計量校準：高精度真空計作標準，校準低精度設(shè)備，確保測量合規(guī)。

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真空計類目：

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