一、工作原理（按類型分）

1. 熱傳導(dǎo)式：利用氣體熱傳導(dǎo)率隨壓力變化，通過(guò)檢測(cè)加熱元件（如鎢絲）的電阻 / 溫度變化反推真空度，量程 10?~10?1Pa，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；
2. 電離式：燈絲發(fā)射電子電離氣體，離子流強(qiáng)度與壓力成正比，量程 10?1~10?11Pa，精度高，需先抽低真空；
3. 電容式薄膜：壓力差使金屬膜片形變，導(dǎo)致電容變化，量程 10?~10??Pa，耐污染、無(wú)燈絲，適配腐蝕性氣體；
4. 冷陰極式：高壓電場(chǎng)電離氣體，無(wú)燈絲損耗，量程 10?2~10??Pa，抗沖擊，適合惡劣環(huán)境。

二、核心應(yīng)用場(chǎng)景

1. 真空設(shè)備配套：監(jiān)測(cè)真空泵組（分子泵、干泵）壓力，判斷是否達(dá)標(biāo) / 漏氣；保障鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)腔室真空穩(wěn)定；
2. 科研實(shí)驗(yàn)：為加速器、核聚變裝置測(cè)超高真空，為 SEM/TEM 等儀器提供低干擾真空環(huán)境，提升實(shí)驗(yàn)精度；
3. 工業(yè)生產(chǎn)：半導(dǎo)體工藝（離子注入、晶圓清洗）控潔凈真空，醫(yī)藥凍干設(shè)備保真空度防藥品破壞；
4. 計(jì)量校準(zhǔn)：高精度真空計(jì)作標(biāo)準(zhǔn)，校準(zhǔn)低精度設(shè)備，確保測(cè)量合規(guī)。

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真空計(jì)類目：

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